電加熱器是真空電阻爐的重要部件，它決定爐子的工作能力和工作期限。電加熱器是由電熱元件組成的，真空爐內的電熱元件的工作條件，與非真空爐相比有以下不同點:

　　(1)電熱元件向工件傳熱的形式不同。真空爐的電熱元件是通過輻射向工件傳熱，所以在其他條件相同時，真空爐的溫度比非真空爐的要高。不過，只在低溫爐中溫度差別才比較顯著。

　　(2)電熱元件與爐內氣氛互相作用的條件不同。電熱元件在真空爐內的工作條件比其他狀態下要好，特別是比爐內為氧化氣氛的非真空爐要好得多。因而，電熱元件在真空狀態下對抗氧化性要求不高。非真空爐電加熱器中電熱元件工作時除了爐內氣氛與電熱元件發生化學反應外，某些電熱材料，特別是稀有金屬，在加熱時因吸收大量氣體而變脆、易損壞，但在真空狀態下這些金屬就能較長期而可靠地工作。

　　(3)電熱元件材料的揮發速度不同。電熱材料在真空爐內容易揮發，由于隨著電熱元件溫度的升高，其蒸氣壓也隨之增加，故使用壽命降低。從這一點看，真空也給電熱元件帶來了不利影響。

　　對于低、中溫真空爐(使用溫度不高于1000℃)，一般采用鎳鉻合金、鐵鉻鋁合金作電熱元件;對于高溫真空爐，特別是使用溫度大于1200℃的真空爐，所使用的電熱元件為鋁、鎢、鉭等純金屬以及石墨。非金屬電熱材料，如碳化硅在真空下其黏結劑會分解，硅化鋁在真空下超過1300℃時會軟化，因此真空爐很少采用這兩種電熱材料