真空爐無廢氣、煙塵，無廢水、廢渣，無環境污染，改善了勞動條件，被稱作光亮熱處理、清潔熱處理和綠色熱處理。真空爐加熱工件無氧化、無脫碳、無合金元素貧化，脫脂脫氣，真空提純，避免氫脆，能實現分級等溫淬火，能控制加熱與冷卻，為自動化、柔性化生產奠定基礎。  

    與鹽浴爐加熱相比，在快速和局部加熱方面，真空爐也有不足，因為在某些特定場合下，這種操作也是需要的。  

GB/T1299-2000所列出的全部合金工具鋼，以及高速工具鋼、不銹鋼、軸承鋼等都適合真空高壓氣淬和油淬，常用的鋼號有Cr12MoV、D2、1.2379、K110、DC11、SLD、QC11、XW42、K340、DC53、4Cr5MoSiV1、H13、1.2344、W302、SKD61、DHA1、DAC、8402、QD61、8407、DH31、DAC55、QDN、W6Mo5Cr4V2Co5、M2、1.3343、SKD51、W6Mo5Cr4V2、Co5、M35、1.3243、MH55、3Cr2NiMo、P20、1.2738、PX5、718、4Cr13、9Cr18、420、440C、17-4PH、17-7HP、GCr15、65Nb、LD、GD、HM1、HM3、Y4、Y10、GR鋼等。用這些鋼種制造的沖裁、拉深、擠壓、彎曲、搓絲、熱鍛、溫鍛、壓鑄及塑料模具零件，經真空熱處理獲得了剛韌兼備穩定可靠的組織與性能，確保提高模具使用壽命。  

    臥式雙室高壓氣淬和油淬真空爐，較適合模具淬火，應把體積或壁厚相近的零件同爐加工，以設定恰當統一的保溫時間，包括加熱溫度、加熱速度、保溫時間、冷卻速度等熱處理工藝參數，對零件性能影響至關重要。  

    零件表面和心部的溫度差，加熱與冷卻的不均勻是造成淬火變形和開裂的主要原因。淬火加熱和隨后的保溫是為了合金元素充分溶解和奧氏體均勻化。  

    應根據相關技術資料給出的數據來設定淬火加熱溫度，要求二次硬化和回火穩定性高的場合取上限，防止變形和開裂的場合取下限，保溫時間指全爐最厚零件心部到達淬火溫度后的停留時間，其與電爐功率、裝爐量、裝爐方式和零件大小等因素相關。