真空爐整體可大致分為六大組成部分為：爐體、加熱室、充放氣系統(tǒng)、水冷系統(tǒng)、控制系統(tǒng)和真空系統(tǒng)。 

     爐體主要包括爐殼和傳送裝置。爐殼鋼板的選擇主要是根據(jù)爐體承受的壓強來決定的，壓力越高就要選擇相對較厚的鋼板；傳送裝置可分為立式的絲桿傳送和臥式的鏈條傳送。

    加熱室包括保溫屏、加熱元件、水冷電極、連接板、支架桿、緊壓螺母、爐床、爐床支柱、導電桿、導電桿接頭等。保溫屏一般分為金屬和石墨兩大類。不充氣的情況下石墨保溫屏采用軟氈的形式；充氣的情況下保溫屏要采用復合硬氈。金屬類保溫屏在低溫的情況下選用不銹鋼材料，高溫的時候要采用鉬等耐高溫材料。加熱室其他物品一般采用高強石墨，既要保障它耐高溫、強度大又要保證材料價格便宜。 

    充放氣系統(tǒng)主要包括：氣瓶、充氣管道、充氣閥、放氣閥等。充氣閥的主要作用是：開關氣路，控制氣流大小，定量充氣的作用。 

    水冷系統(tǒng)主要包括水流量計和水壓表。其結構為冷壁式結構，即在雙層爐壁之間要不間歇的循環(huán)通水來帶走爐壁升溫過程中產(chǎn)生的熱量，防止爐壁升溫過高。在進水口每一路都要有水流量計，確保能觀察到每路水循環(huán)的狀態(tài)。 

    控制系統(tǒng)一般主要包括：PLC、控溫表、真空計配套規(guī)管、無紙記錄儀、低壓電器、工控機、模擬板等。PLC的作用就是控制傳輸我們所需要的各個動作的指令，是總控制中心。控溫表主要是在升溫和保 溫過程中來調(diào)節(jié)溫度的大小，達到我們需要的溫度。衡量一個真空爐最重要的一個標準就是真空度。真空規(guī)管就是測量真空度的傳感器，真空計是顯示和控制部分。真空規(guī)管將測量到的真空度值以電信號傳給真空計，真空計把電信號轉換成相應的真空度數(shù)字值，并顯示出來。有的真空計還可以輸出自動控制信號。真空規(guī)管又可分為電離規(guī)管和電阻規(guī)管。電離規(guī)管能準確測量出1pa以下的真空度大小；電阻規(guī)管能準確測量出1pa以上的真空度大小。 

    真空系統(tǒng)主要包括：機械泵、羅茨泵、擴散泵、分子泵、真空閥和電磁壓差閥等。機械泵分為旋片泵和滑閥泵為一級泵，可以單獨使用。羅茨泵為二級泵，不可以單獨使用，必須有前級泵。擴散泵和分子泵抽取的極限壓強更小，可使所抽容器達到更高的真空度。泵抽速大小的選取一般根據(jù)所抽容積的大小和極限真空度。真空閥的主要作用是將真空爐內(nèi)部與外界進行隔開或聯(lián)通的裝置，可以使泵停止工作期間真空爐內(nèi)依然為真空狀態(tài)。